SG-P22 シリーズ圧力チップは、SOI テクノロジーに基づいたシリコンピエゾ抵抗圧力感知チップです。この一連のチップはピエゾ抵抗検出原理を使用しており、感圧フィルムが圧力下で変形すると、感圧フィルム上の抵抗変化が入力圧力を特徴付けます。定電圧/定電流源の励起下では、生成される出力電圧は入力圧力に対して線形になります。

SG-P22 シリーズチップは、安定性、高い再現性、広い動作温度ゾーン特性を備え、さまざまなパッケージ形態に適しており、さまざまなアプリケーション環境のチップに応じて絶対圧力 (A) またはゲージ圧力 (G) を提供でき、デジタル補償や抵抗ネットワーク補償に適しています。

特徴

高い再現性
動作温度範囲-55度～180度
高い信頼性

アプリケーション

気象測定
エアデータシステム

石油掘削
産業用計測および制御

仕様

標準範囲	範囲コード		圧力範囲	タイプ			備考
	10M0		0～10MPa	A			1500psi
	20M0		0～20MPa	A			3000psi
	28M0		0～28MPa	A			4000psi
	45M0		0～45MPa	A			6500psi
	70M0		0～70MPa	A			10000psi
	過負荷圧力		ダブル				定格圧力
パフォーマンスパラメータ	パラメータ		分	典型的な		マックス		単位	マーク
	再現性		0.01	0.03		0.05		±%FSO	2
	直線性		0.1	0.15		0.2		±%FSO	1
	ヒステリシス		0.01	0.03		0.05		±%FSO	2
	ゼロ点湿度ヒステリシス		0.01	0.03		0.05		±%FSO	2,3
	感度温度ヒステリシス		0.01	0.03		0.05		±%FSO	2,3
	フルレンジスパン		80	100		120		MV	2,3
	ゼロ点温度係数 TCO		-500	-100		500		ppm/度	2
	感度温度係数 TCS		-1200	-950		-800		ppm/度
	ブリッジ抵抗温度係数 TCR		1400	1600		1800		ppm/度	2
チップサイズ		圧力範囲			10MPa～70MPa
		外形寸法(mm)			2.5×2.5×2.4
特性パラメータ		励起			2~10V
					0.2～2mA
ブリッジ抵抗		2kΩ~5kΩ
橋の形		半開橋
使用温度範囲		-55度～180度
保存温度範囲		-55度～180度
橋の形		半開橋-
適切な媒体		清潔、乾燥しており、腐食性ガスがないこと

Low Temperature Drift Pressure Chip

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SG-P22 シリーズ低温ドリフト圧力チップ

特徴

アプリケーション

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