SGP01 シリーズ圧力チップは、SOI テクノロジーに基づいたシリコンピエゾ抵抗圧力感知チップです。この一連のチップは、ピエゾ抵抗検出の原理を利用しています。感圧膜が圧縮下で変形すると、感圧膜上の抵抗の変化が入力圧力の大きさを表します。定電圧/電流源励起下では、生成される出力電圧は入力圧力と線形に関係します。 SGP01シリーズチップは、高い安定性、高い再現性、広い動作温度範囲という特徴を備えており、さまざまなパッケージ形態に適しています。さまざまなアプリケーション環境に応じて、絶対圧 (A) またはゲージ圧 (G) チップを提供できます。

S化学図

ボンドパッドの構成

いいえ	電気接続
1	信号出力 -
2	パワー+
3	信号出力＋
4	パワー-
5	パワー-

製品の特徴

応用

※高感度

※高い再現性

※使用温度範囲：-55〜180度

※最大過負荷圧力：定格圧力の2～3倍

※気象計測

※ 大気データシステム

※石油掘削

※ 工業用計測・制御

性能仕様

標準範囲
範囲番号	圧力範囲	タイプ	マーク
15k0	0～15kPa	G	2psi
35k0	0～35kPa	G	5 psi
100k	0～100kPa	G/A	15psi
200k	0～200kPa	G/A	30psi
350k	0～350kPa	G/A	50psi
700k	0～700kPa	G/A	100psi
01M0	0～1Mpa	G/A	150psi
02M0	0～2MPa	G/A	300psi
03M5	0～3.5MPa	G/A	500psi
07M0	0～7MPa	A	1000psi
10M0	0～10MPa	A	1500psi
20M0	0～20MPa	A	3000psi
35M0	0～35MPa	A	5000psi
70M0	0～70MPa	A	10000psi
過負荷圧力	2回		定格圧力

性能パラメータ

パラメータ	分	典型的な	マックス	ユニット	マーク
再現性	0.01	0.03	0.05	±%FSO	2
直線性	0.05	0.1	0.15	±%FSO	1
ヒステリシス	0.01	0.03	0.05	±%FSO	2
ゼロ温度ヒステリシス	0.01	0.05	0.15	±%FSO	2 3
感度温度ヒステリシス	0.01	0.05	0.15	±%FSO	2 3
フルレンジスパン	45	75	175	mV	2 3
ゼロ温度係数 TCO	-600	260	600	ppm/度	2
感度温度係数	-2500	-1900	-1400	ppm/度
ブリッジ抵抗温度係数	1000	1200	1400	ppm/度	2

特性パラメータ

励起	ユニット
2~10	V
0.2~2	ミリアンペア

ブリッジ抵抗	3kΩ - 6.5kΩ
作業温度	-55度～180度
保管温度	-55度～180度
橋の形	半開橋
適切な媒体	清潔で乾燥しており、腐食性ガスがないこと

寸法

圧力範囲	全体の寸法
15kPa～7Mpa	3.8×3.8×2.4
10Mpa～70Mpa	2.5×2.5×2.4

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SGP 21 シリーズ圧力センサーチップ

性能仕様

性能パラメータ

特性パラメータ

寸法